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無塵室主要是由下列各項系統所組成的
瀏覽次數:1236發布日期:2022-03-15
  無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
 

 

  無塵室最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
 
  無塵室構成:
  無塵室的構成是由下列各項系統所組成,在所組成的系統分子中是缺一不可的,否則將無法構成一完整且品質良好的無塵室:
  1、天花板系統:包括吊桿、綱)、天花板格子梁;
  2、空調系統:包括空氣艙、過濾器系統、風車等;
  3、隔墻板(Partitional wall):包括窗戶、門;
  4、地板:包括高架地板或防靜電地板、以及環氧自流平及滾涂地面;
  5、照明器具:包括日光燈、黃色燈管等;
  6、無塵室之建筑主體構造,一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,必須滿足如下之條件:
 ?、?、不會因溫度變化與振動而發生裂痕;
 ?、?、不易產生微塵粒子,且很難附著粒子;
 ?、?、吸濕性??;
 ?、?、為了維持室內之濕度條件,熱絕緣性要高。
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